LOS RODAMIENTOS Y GUÍAS EN V DE HEPCOMOTION® INCREMENTAN LA PRODUCCIÓN DE SEMICONDUCTORES

Industria: Cientifica

Producto: Rodamientos para vacío y Temperaturas Extremas

La empresa francesa Riber, líder mundial en el suministro de equipamiento de epitaxia de haces moleculares (MBE) para depositar cristales en la fabricación de semiconductores, está utilizándo rodamientos para vacío y guías HepcoMotion® en sus últimos sistemas.

Re-emplazando una unidad interna que no resultaba fiable, la solución de HepcoMotion® permite a Riber ajustar la precarga del sistema sin ninguna holgura en el mecanismo. Esta facilidad permite a la larga una mejor repetibilidad con un nivel de fiabilidad que antes no tenían.

El proceso MBE utilizado en la producción de aparatos electrónicos requiere posicionar de forma precisa láminas de silicona dentro de una camara de vacío.

En sí este proceso tiene un número de retos con respecto a la precisión y suavidad del movimiento, con la complicación añadida de tener que trabajar a 10-9 mbar. Los sistemas estándar compatibles con vacío a menudo sólo trabajan en condiciones de hasta 10-6 mbar.

Cuando se encargó a los ingenieros de Riber encontrar un sistema de posicionamiento de re-emplazo, decidieron utilizar los rodamientos para vacío tamaño 34 de HepcoMotion®. Este producto completamente en acero inoxidable ya habían probado ser altamente eficaces en aplicaciones de vacío de hasta 10-6 mbar. Para conseguir mejorar la actuación al vacío solicitado por Riber, HepcoMotion® utilizó una grasa especial para vacío dentro de los rodamientos sellados. Esto permite que el producto opere a mayores niveles de vacío durante períodos más largos sin el temor de sufrir una avería.

En las operaciones de traslado de las láminas, la longitud de recorrido puede variar. La solución estándar de Riber se compone de guías planas SL2 (SSM44 x 1000mm de largo) con dos rodamientos VACSS SJ34C y dos rodamientos VAC SSSJ34E montados en un carro especial, con una cremallera y piñón que proporcionan la solución del accionamiento. La configuración se ha optimizado para proporcionar a Riber con un paquete fácil de instalar.

Ahora Riber tiene una solución altamente fiable que les permite variar la resistencia por fricción para adaptarla a la carga de la aplicación y mantener un alto nivel de precisión.

Un sistema de baja fricción es vital si se quiere evitar la tribocorrosión cuando el acero inoxidable funciona de forma efectiva en seco. Cualquier tipo de contaminación en la camara estanca comprometería el proceso y provocaría la pérdida de las láminas. Sólo las guías en V de HepcoMotion® han sido capaces de proporcionar el nivel de confianza requerido por Riber para satisfacer esta aplicación especial.