Rodamiento de Vacío

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Tarea

La empresa francesa Riber, es líder mundial en el suministro de equipamiento de epitaxia de haces moleculares (MBE) para depositar cristales en la fabricación de semiconductores. El nuevo desarrollo en la gama de máquinas de producción de Riber les ha llevado a crear una solución lineal para manipular unos soportes de láminas y colocarlos dentro de una camara de vacío. Este sistema se ha construido con la combinación de un sistema de guias lineales montado en el extreme de un brazo rotatorio.

El proceso MBE utilizado en la producción de apartos electrónicos require posicionar de forma precisa unas láminas de silicona dentro de una camara de vacío. En sí este proceso tiene algunos retos con respecto a la precision y suavidad del movimiento, con la complicación añadida de tener que trabajar a 10-9 mbar. Los sistemas estándar compatibles con vacío a menudo sólo trabajan en condiciones de hasta 10-6 mbar

Cuando se les encargó a los ingenieros de Riber buscar un sistema de posicionamiento de reemplazo, la empresa contactó con HepcoMotion® y utilizar sus rodamientos para vacío de tamaño 34. Este producto completamente en acero inoxidable ya había probado ser altamente eficaz en aplicaciones de vacío de hasta 10-6 mbar. Para conseguir mejorar la actuación al vacío solicitado por Riber, HepcoMotion® utilizó una grasa especial para vacío dentro de los rodamientos sellados. Esto permite que el producto opere a mayores niveles de vacío durante períodos más largos sin el temor de sufrir una avería.

 

 

Solución

Reemplazando una unidad que tenía el cliente, y que no era del todo fiable, la solución de HepcoMotion® permite a Riber ajustar la precarga del sistema sin ninguna holgura en el mecanismo. Básicamente esto les proporciona una repetibilidad mejorada con un nivel de fiabilidad que antes no tenían.

En las operaciones de traslado de las láminas, la longitud de recorrido puede variar, aunque la solución estándar de Riber require guías planas SL2 (SSM44 x 1000mm de largo) con rodamientos 2xVACSS SJ34C y 2xVAC SSSJ34E montados en un carro especial con una cremallera y piñón que proporcionan el accionamiento. La configuración se ha optimizado para proporcionar a Riber con un paquete fácil de instalar.

Detalle del Suministro

Riber ahora utiliza de forma regular unos rodamientos especiales basados en los rodamientos VAC SS SJ 34 C/E, combinados con unas guías planas en acero inoxidable SS M 44, con una cremallera en acero inoxidable montada en las mismas.

Riber Image (17-07-14)

 

Resultado

Riber tiene ahora una solución altamente fiable que les permite variar la resistencia por fricción para adaptarla a la carga de la aplicación y mantener un alto nivel de precisión. Un sistema de baja fricción es vital si se quiere evitar la tribocorrosión cuando el acero inoxidable funciona de forma efectiva en seco. Cualquier tipo de contaminación dentro de la camara comprometería el proceso y provocaría la pérdida de láminas. Sólo las guías en V de HepcoMotion® han sido capaces de proporcionar el nivel de confianza necesitado por Riber para satisfacer esta aplicación especial.

Actualmente se realizan otros desarrollos en la oficina de diseño de Riber, involucrando otros productos de Hepco, tales como nuestros anillos PRT2.

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