Guidage utilisé dans le Vide

Industrie: Industrie scientifique

Produit: Guidage linéaire pour le températures extrêmes et vide

RIBER société basée en France, premier fournisseur mondial d’équipements d’épitaxie par jets moléculaires (MBE) pour la dépose de cristaux dans la fabrication de semi-conducteurs, utilise des galets et rails Hepcomotion pour le vide de dernière génération.

Remplaçant une solution maison qui se révélait peu fiable, la solution Hepcomotion a permis à Riber d’effectuer un réglage de la précontrainte pour éliminer tous les jeux dans le mécanisme. Au final, cela a permis d’obtenir une bien meilleure fiabilité et répétabilité.

Le procédé MBE, utilisé dans la production de dispositifs électroniques nécessite la manipulation et le positionnement avec précision de plaquettes de silicium à l’intérieur d’une enceinte sous vide poussé.

Solution

En soi, ce processus met en évidence un certain nombre de défis en matière de précision et de fluidité des mouvements, tout cela dans un milieu à 10-9mbar. Nos composants standard pour le vide permettent normalement un fonctionnement jusqu’à 10-6mbar.

Lorsque les ingénieurs de Riber ont été chargés d’améliorer leur système de positionnement, ils se sont tournés vers Hepcomotion et ses galets pour le vide de taille 34. Ces produits totalement en acier inoxydable s’étaient déja révèlés particulièrement efficaces dans les applications sous vide jusqu’à 10-6mbar. Pour atteindre un vide plus élevé éxigé par Riber, Hepcomotion utilise une graisse à vide spéciale dans des roulements étanches. Cela permet au produit de fonctionner à des vides plus poussés pendant des périodes prolongées sans crainte de panne.

Solution

Dans les opérations de transfert de wafer, la course peut varier ; cependant, la solution standard retenue par Riber fait appel à des rails SL2 sans talon (SSM44 x 1000mm) avec deux galets VACSS SJ34C et deux galets VACSS SJ34E fixés sur un chariot spécial entraîné par crémaillère. La configuration a été optimisée pour fournir à Riber une solution simple à installer.

Résultat

Riber possède maintenant une solution trés fiable qui leur laisse la possibilité de faire varier la précontrainte en fonction de la charge embarquée et du niveau de précision recherché. Un système à faible friction est essentiel pour éviter la corrosion de contact, lorsque des aciers inoxydable sont en contact à sec. Toute contamination dans l’enceinte compromettrait le processus, conduisant à un défaut sur les wafers. Seul un rail en V Hepcomotion a été en mesure de fournir le niveau de confiance recherché par Riber pour satisfaire cette application si particulière.