Guidage utilisé dans le Vide

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Industrie
Industrie Scientifique
Produit
Guidage linéaire pour le vide et températures extrêmes
Pays
France
Process
Transfert du Produit

L’application

Le développement de la gamme “Machine de production” de RIBER, a conduit à la création d’un dispositif linéaire permettant de prélever les supports de wafers et les introduire au coeur de l’enceinte. Cette fonction est assurée par la combinaison d’un rail de guidage fixé au bout d’un mat rotatif.

Solution

HepcoMotion propose déjà en standard des éléments compatibles avec le vide, jusqu’à 10-6mbar. La technologie de guidage sur galets à gorge en V permet une translation d’une grande douceur, avec un excellent niveau de précision.

En collaboration avec RIBER, HepcoMotion a fabriqué une série de galets spéciaux, sans graisse, permettant un fonctionnement jusqu’à des vides encore plus poussés (10-9mbar).

Fourniture

RIBER utilise régulièrement des galets spéciaux sur la base des galets VAC SS SJ 34 C/E, combiné à des rails plat inox SS M 44 intégrant une crémaillère inox pour l’entraînement.

Riber Image (17-07-14)

Résultat

La conception simple du guidage sur galets à gorge en V, paradoxalement à la complexité technique de la machine, donne une grande satisfaction. C’est toute une fonction mécanique déléguée par Riber, qui réalisait eux même leur système de transfert de manière plus rustique, avant de découvrir la solution Hepcomotion.

Une des contraintes liée à ce process est que les surfaces métalliques en contact tendent à “adhérer“ entre elles, mais de part le réglage des galets excentriques, il est possible d‘optimiser le réglage de la précontrainte pour limiter ce phénomène.

Aujourd‘hui d’autres dévelopements sont en cours au sein du bureau d’étude Riber, impliquant d’autres technologies HEPCO telles que nos couronnes PRT2.

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