Industria:
Scientifico
L’azienda francese Riber è fornitore leader mondiale di apparecchiature per epitassia da fasci molecolari (MBE) impiegate per il deposito di cristalli nella produzione di semiconduttori.
Gli ultimi sviluppi delle macchine Riber hanno portato l’azienda a creare una nuova disposizione lineare per il prelievo dei supporti per wafer e il caricamento nelle camere a vuoto. Il sistema si compone di u’unità di guida lineare montata all’estremità di un braccio girevole
Il processo MBE utilizzato nella produzione di dispositivi elettronici richiede che i wafer di silicone siano posizionati con precisione all’interno di una camera ad alto vuoto.
Questo metodo presenta per sua natura diverse problematiche in termini di precisione e scorrevolezza del movimento, a cui si aggiunge l’ulteriore complicazione di operare a 10-9 mbar di pressione. I sistemi standard per le operazioni in vuoto spesso sopportano condizioni massime di 10-6 mbar.
Quando agli ingegneri Riber è stato posto il problema di creare un sistema di posizionamento alternativo, l’azienda si è rivolta a HepcoMotion® e ai suoi cuscinetti per applicazioni sottovuoto della misura 34. Questi prodotti totalmente in acciaio inossidabile si sono dimostrati estremamente validi in applicazioni sottovuoto fino a 10-6 mbar. Per raggiungere le caratteristiche di resistenza al vuoto superiori richieste da Riber, HepcoMotion® ha utilizzato un grasso speciale per i cuscinetti ermetici. Ciò consente al prodotto di operare in condizioni di vuoto spinto per periodi più lunghi senza rischio di rotture.
Soluzione
Sostituendo un’unità interna rivelatasi inaffidabile, la soluzione HepcoMotion® consente a Riber di impostare il precarico di sistema senza gioco nei meccanismi. In questo modo viene sensibilmente migliorata la ripetibilità con un grado di affidabilità mai ottenuto in precedenza.
Nelle operazioni di trasferimento dei wafer, la distanza di spostamento può variare ma per soluzioni standard Riber si avvale di guide piatte SL2 (SSM44 x 1000 mm di lunghezza) con due cuscinetti VACSS SJ34C e due cuscinetti VAC SSSJ34E montati su un carrello speciale dove il gruppo cremagliera/pignone provvede all’azionamento. La configurazione è stata ottimizzata per fornire a Riber un pacchetto di facile installazione.
Prodotti forniti
Ora Riber fa uso costante di cuscinetti speciali del tipo VAC SS SJ 34 C/E, in combinazione con guide in acciaio senza distanziale SS M 44, su cui è fissata una cremagliera in acciaio inossidabile.
Risultati
Riber dispone ora di una soluzione estremamente affidabile che offre all’azienda l’opportunità di variare la resistenza all’attrito in funzione del carico dell’applicazione e di mantenere un elevato grado di precisione. È fondamentale poter contare su un ridotto attrito se si vuole evitare la corrosione da sfregamento in un sistema dove i componenti in acciaio inossidabile scorrono a secco. L’eventuale contaminazione all’interno della camera comprometterebbe il processo causando la perdita dei wafer. Solo le guide a V HepcoMotion® sono state in grado di garantire il livello di affidabilità richiesto da Riber nel soddisfare le esigenze di un’applicazione tanto specifica.
Attualmente l’ufficio progettazione Riber sta lavorando a progetti che coinvolgono altri prodotti Hepco, quali le guide circolari PRT2.
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