HepcoMotion Lagerunits En V-Geleidingen Stimuleren Semiconductor Productie

Terug
Industrie
Wetenschappelijke Industrie
Product
SL2 Roestvaststalen Lineair Geleidingssysteem
Land
Frankrijk
Proces
Overdracht van Produkt

Taak

Riber, gevestigd in Frankrijk, is  ’s werelds toonaangevende leverancier van moleculaire beam epitaxie (MBE), apparaten voor het deponeren van kristallen in de productie van halfgeleiders en maakt gebruik van vacuüm kwaliteit lagers en geleidingen van HepcoMotion in hun nieuwste systemen. Vervanging van een interne unit die onbetrouwbaar was werd gedaan door HepcoMotion’s oplossing waardoor Riber het systeem kon afstellen met voorspanning zonder speling in het mechanisme. Dit zorgde uiteindelijk voor een sterk verbeterde herhaalbaarheid met een betrouwbaarheid die nog niet eerder werd gezien.

Oplossing

Het MBE proces dat toegepast wordt in de productie van electronische apparaten vereist dat siliconen wafers nauwkeurig gepositioneerd worden in een hoge vacuüm kamer. Dit proces op zich brengt al enkele uitdagingen met zich mee zoals nauwkeurigheid en soepele beweging met daarbij de extra complicatie dat het systeem moet werken onder 10-9 mbar. Standaard vacuüm systemen werken vaak maar in werkomstandigheden tot 10-6 mbar.

Toen de ingenieurs van Riber belast werden met de taak om een vervangend positioneersysteem te zoeken, richtte het bedrijf zich tot HepcoMotion en hun formaat 34 vacuüm lagers. Deze compleet uit roestvaststaal vervaardigde producten waren reeds zeer succesvol in vacuüm toepassingen tot 10-6 mbar. Om te voldoen aan de hogere vacuüm eis van Riber, gebruikte HepcoMotion® een speciaal vacuüm vet in de afgedichte lagers. Hierdoor kon het product werken onder een hoger vacuüm voor langere periodes zonder de angst dat storingen zouden optreden.

Geleverd

In wafer overdracht operaties kan de slaglente variëren, echter Riber’s standaard oplossing gebruikt SL2 vlakke geleidingen (SSM44 x 1000mm lang) met twee VACSS SJ34C en twee VACSS SJ34E lagers gemonteerd in een speciale wagen waarbij tandheugel/rondsel zorgt voor de aandrijving. De configuratie is voor Riber geoptimaliseerd tot een eenvoudig te installeren packet.

Riber Image (17-07-14)

Resultaat

Riber heeft nu een uiterst betrouwbare oplossing waarbij ze de mogelijkheid hebben om de wrijvingsweerstand te variëren afhankelijk van de toepassingsbelasting en daarbij een hoge mate van nauwkeurigheid te behouden. Een systeem  met lage wrijving is van vitaal belang als wrijvingscorrosie moet worden vermeden, waar roestvaststalen delen ongesmeerd werken. Elke verontreiniging in de kamer zou het proces in gevaar brengen wat leidt tot het verlies van wafers. Alleen een HepcoMotion V-geleiding is in staat gebleken om Riber het vereiste niveau van vertrouwen te geven en te voldoen aan deze specialistische toepassing.

Terug

Selecteer a.u.b. een portaal om uw
CAD-modellen te downloaden

TraceParts Cadenas